1. 技術のポイント

従来の検査装置では、顕微鏡でフェルール端面の一部を拡大して観察していたため、フェルール全体を検査するためには観察視野を動かしつつ測定を行ないます。このためには観察視野を0.1 μm精度で移動する必要があり、精密自動ステージ、移動量を測定するレーザ測長計、これらを駆動するステージドライバが必要でした。

開発した検査装置では顕微鏡レンズを低倍率化し、観察視野をフェルール端面全体に広げました。さらに、新たに32階調の濃淡画像を取得し濃淡情報を画像処理に反映することで、低倍率レンズで取得された低解像度画像を用いた測定において、従来と同等の測定精度を実現しました。これにより移動ステージ等を省略した簡易な装置構成が可能となり、検査装置の低コスト化が期待できます。

図2　検査装置の観察視野と構成