- 2002年度
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- NTTマイクロシステムインテグレーション研究所、NTT環境エネルギー研究所を発足
- ダイヤモンド半導体の製造技術を開発
- 2001年度
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- 世界に先駆けて2000本級ディジタルシネマの評価実験を開始
- 超大容量DWDM伝送方式に不可欠な広帯域光アンプ（テルライトラマン光ファイバアンプ）を開発
- 2000年度
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- 周回性アレイ導波路回折格子フィルタを用いた大容量フルメッシュネットワークシテム（AWG-STAR）を開発
- フェムト秒光パルスを用いた単一波長 1.28 Tb/s 時分割多重伝送実験に成功
- 1999年度
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- 低コスト MU 形コネクタによる単心系光コネクタ統一化ビジョンを策定
- 厚木研究開発センタで ISO14001 を取得
- 1998年度
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- NTT先端技術総合研究所発足（6研究所体制）
- 光コネクタサイズで低電力な 2.5 Gb/s 光送信モジュールを開発
- 1997年度
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- 単一走行キャリア・フォトダイオード（UTC-PD）を開発
- 半導体アレイ導波路回折格子型（AWG）集積光デバイスを開発
- 1996年度
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- LSI研究所からシステムエレクトロニクス研究所に名称変更
- ハイブリッド集積WDM光送受信モジュールを開発
- 光アクセスシステム用PLC光部品の小型化・高密度化を実現
- 1995年度
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- 0.25μｍCMOS/SIMOX技術による大規模ゲートアレイLSI試作に成功
- 波長多重分割光通信用アレイ導波路回折格子（AWG）光合分波器を開発
- 1994年度
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- 総合研究所体制への移行、基礎技術総合研究所の発足
- SIMOX基板に形成したSi量子細線で単電子トランジスタを試作
- 1993年度
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- 基礎研究所厚木移転
- 0.2μｍ級LSI基本技術を確立
- MU形光コネクタ実用化
