2002年3月31日現在
（*は年度途中までの在籍者）
（*は年度途中までの在籍者）
先端デバイス研究部
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| Ｓｉナノデバイス研究Ｇ グループリーダ |
高橋庸夫 猪川 洋 堀口誠二 植松真司 小野行徳 藤原 聡 秋山 亨
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| ナノ加工研究Ｇ グループリーダ |
生津英夫 永瀬雅夫 林 順三 山口 徹 山崎謙治 渡辺義雄 神崎賢一
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| 表面構造制御研究Ｇ グループリーダ |
荻野俊郎 小林慶裕 本間芳和 渡辺義夫 川村朋晃 Kuniyil, Prabhakaran 住友弘二 日比野浩樹 前田文彦 尾身博雄 鈴木 哲 金子 新 Nath, Krishna Gopal* Bottomley, David* Lin, Feng |